PAS-XYθ微动校准平台

PAS-XYθ微动校准平台2022-04-12T06:48:47+00:00

PAS-XYθ微动校准平台

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发布时间:2022-04-12 14:48

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PBAXYθ 微动校准平台是用于XYθ运动的3轴平台。具有低组装、结构紧凑和高精度定位等特点。平台动力来源于PBA直驱电机并内置高分辨率编码器。适用于利用图像处理的校准处理,如半导体和液晶相关制造设备,以及测量设备和检测仪器的定位机构

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