上扬软件RMS系统|MG创意动画|2.5D平台系统
2022-11-02T05:04:06+00:00上扬软件RMS系统|MG创意动画|2.5D平台系统
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配方管理系统RMS对半导体工厂设备里面配方进行管控,支持Online和Offline比对,支持上传和下载。
配方管理支持工厂主机在设备之间传输配方,并且在配方发生变化时通知工厂主机。RMS与EAP联结,实时管控机台所用配方与用户当初的设定是否匹配,从而使机台所用的配方更加安全,并对设备配方及其Recipe Body内容进行有效的存储、管理和控制。
RMS的主要功能包括:
- 设备Recipe模型管理
- 对设备上所有Recipe List管理
- 对设备上所有Recipe Body管理
- 对设备上所有Recipe Body版本控制
- Recipe Body比对(Online & Offline)
- 配方使用次数和周期管理
- 权限、步骤,参数、范围管控
- 黄金配方
实现配方自动选择、自动加载、自动校验,确保配方的完整性并支持可追溯性,以及使用次数的限制,避免生产加工过程中配方用错以及被误修改的可能性,保证机台在Auto Run时配方的准性。
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